晶圓膜轉(zhuǎn)膜自動(dòng)化設(shè)備

 晶圓分選機(jī)是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的重要設(shè)備。其結(jié)構(gòu)主要包括機(jī)械主體、馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部分、傳感器和電子控制部分等。晶圓分選機(jī)的工作原理主要是通過馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部分帶動(dòng)機(jī)械主體進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，配合傳感器和電子控制部分，實(shí)現(xiàn)精確的位置控制和運(yùn)動(dòng)軌跡規(guī)劃。在運(yùn)動(dòng)過程中，晶圓分選機(jī)會(huì)利用光學(xué)傳感器對(duì)晶圓表面進(jìn)行檢測(cè)，判斷其形狀、尺寸、表面質(zhì)量等因素。根據(jù)檢測(cè)結(jié)果，晶圓分選機(jī)會(huì)將合格的晶圓送至指定位置，將不合格的晶圓送至廢料槽。

產(chǎn)品亮點(diǎn)

1、高精密

配備高精密測(cè)試儀和進(jìn)口影像系統(tǒng)，關(guān)鍵機(jī)構(gòu)配置選配靈活，可搭配國(guó)內(nèi)外不同品牌標(biāo)準(zhǔn)件， UPH可達(dá)2.5k-5k。

2、人機(jī)界面

操作簡(jiǎn)單、界面具有親和力，控制系統(tǒng)采用運(yùn)動(dòng)控制卡加加彩色人機(jī)界面，即時(shí)監(jiān)控機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀態(tài)， 可結(jié)合 MES 系統(tǒng)功能，及時(shí)監(jiān)控機(jī)臺(tái)運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集功能。

3、膜轉(zhuǎn)膜設(shè)備

可檢測(cè)外觀、可將散料膜盤材料按規(guī)則重新擺放入新膜盤;使用壽命長(zhǎng)，模塊化設(shè)計(jì)，操作維護(hù)簡(jiǎn)單，可按要求定制膜轉(zhuǎn)擺盤。

4、CCD影像

先進(jìn)的影像系統(tǒng)可檢知側(cè)料返料和空料以及印字材料缺裂等現(xiàn)象，可搭配多款國(guó)內(nèi)外影像識(shí)別系統(tǒng)，滿足客戶常規(guī)要求。

5、應(yīng)用范圍

適用晶圓、IC、光伏片、新能源材料、半導(dǎo)體材料等，適用膜盤規(guī)格：7寸、13寸、32寸（可按要求定制）